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一、可以测试的硅材料类型
图1-1 硅晶棒晶锭 图1-2 多晶硅片 图1-3 单晶硅片
图1-4普通硅片 图 1-4 硅块料
二、仪器配件选配方案
硅材料电阻率、方阻测试方案选配核心的原则，一是要选择专门测试硅材料的钨针探头，耐磨性好，使
用时间 长，二是要知道硅材料的电阻率范围，以便选配我公司合适的捕鱼游戏排行。 捕鱼游戏排行的 方案选配分三个方面 ：探头的选配、仪器的选配、测试台的选配。任意三件套组成 可以 构成不同特色的方案，或侧重价格、或侧重技术精度、或适用场合或综合考虑。
2.1 探头的选配：由于硅材料是硬度高，表面一般较粗糙，甚至有影响测试的氧化层等，所以硅材料测试
探头 选配原 则是耐磨耐用，要有一定穿透性， 推荐使用ST2253-F01型碳化钨针四探针探头。
如图2-1
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图 2-1 ST2253-F01 碳化钨针探头
市场上也有钢针的，但是耐用寿命不如碳化钨针。澳门威斯尼斯人游戏骗局苏州晶格只有钨针的。测试探头有台式的可以配合在任 意一款测试台上。图示为SZT-C型快速恒压四探针测试台，也有手持式的，适合手持式测试的。
图2-2 SZT-C测试台
2.2 捕鱼游戏排行选配 。
捕鱼游戏排行选配的基本原则是材料电阻率或方阻的测试范围、测试精度，一般测试范围不算大的可
以选M-3手持式，如果范围测试大一点的可以选择台式的ST2258C，带PC软件的可以选择ST2253，如果想测
试精度更好，更准一点的可以选择双电测ST2263，这款也带电脑PC软件的。这三款可以自由选配，如下图
所示
M-3手持式四探针测试 点击这里查看详情
测试范围、分辨率
电 阻： 0.010Ω ～ 50.00kΩ, 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω 电 阻 率： 0.010Ω-cm ～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω-cm 方块电阻： 0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□ 分辨率0.001Ω ～ 10 Ω/□
量程划分及误差等级
M-3手持式四探针仪器 如下图 点击这里查看详情
M-3手持式是款充电式,里面是五个量程的，直接拿在手上就可以进行测试了，在车间 或出差方便携带。
台式ST2258C捕鱼游戏排行 点击这里查看详情
测试范围、分辨率
电 阻：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3Ω, 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω （1.0×10 -6 ～ 20.00×10∧ 3 Ω, 分辨率0.1×10 -6 ～ 0.01×10∧ 3 Ω） 电 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×10∧3 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×10∧3 Ω-cm （1.0×10 -6 ～ 20.00×10∧ 3 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10∧ 3 Ω-cm） 方块电阻：50.0×10-6 ～ 900.0×10∧3 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×10∧3 Ω/□ （5.0×10 -6 ～ 100.0×10∧ 3 Ω/□ 分辨率0.5×10 -6 ～ 0.1×10∧ 3 Ω/□）
量程划分及误差等级
台式ST2258C是款测试范围大一点，是八档宽量程的，手动/自动量程，带产品分类功能，比
M-3手
持式多几个量程。不带电脑pc测试软件的，手工记录数据。
ST2258C
台式ST2253捕鱼游戏排行 点击这里查看详情
测试范围、分辨率
电 阻：1×10-4～2×10∧5 Ω ， 分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω 电阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm， 分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm 方 阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□， 分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□ 量程划分及误差
ST2253测试范围和ST2258C是一样的,也是八档宽量程的。但ST2253是带电脑PC软件的，能够
方便的记录数据和储存数据。
台式ST2263捕鱼游戏排行 点击这里查看详情
测试范围、分辨率
电阻率：1×10-4～2×10∧5 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×10∧2 Ω-cm 方 阻：5×10-4～1×10∧6 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×10∧2 Ω/□ 电 阻：1×10-5～2×10∧5 Ω ，分辨率：1×10-6～1×10∧2 Ω
量程划分及误差等级
台式ST2263如下图 所示
台式ST2263这款是双电测的，误差小，测试更精准，带电脑PC软件
2.3 硅材料测试四探针测试台选配 点击这里查看详情
一般测试台可以选配我公司手动式的SZT-C，上下压力可以手动调节，SZT-A或电动SZT-B型的都 可以选择使用。
SZT-C SZT-A SZT-B
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